Русская планета

283 подписчика

Свежие комментарии

  • Михаил Козлов
    Подлое заглавие, ибо оно противоречит содержанию написанного.«Лукашенко – банд...
  • Серж Прологов
    запизделся Шестилапый, пробы ставить негде...Украинские авиади...
  • Неизвестно Неизвестно
    Майдан головного мозга не лечится, только ампутация, до 10 коленаВ Киеве со всеми ...

Ученые создали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления

Ученые создали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления

Сотрудники НОШ МГУ «Фотонные и квантовые технологии.

Цифровая медицина» представили «виртуальный датчик» энергетического спектра ионов в плазме высокочастотных емкостных разрядов и показали возможности его использования.

Точный контроль параметров, определяемых с помощью датчика, необходим при производстве современных микрочипов, например, при атомно-слоевом травлении материала подзатворного диэлектрика. В перспективе это позволит усовершенствовать технологии создания новых материалов.

Результаты исследования опубликованы в журнале Plasma Sources Science and Technology.

Ион-стимулированные поверхностные процессы являются основой современных технологий плазменной обработки материалов, таких как плазмохимическое травление и осаждение металлов, полупроводников и диэлектриков. Энергетический спектр ионов, приходящих на электрод – важная характеристика разряда, определяющая скорость реакций на поверхности. В таких технологических процессах необходим прецизионный (высокоточный) контроль различных параметров плазмы, в том числе энергетического спектра ионов, особенно при проведении травления с атомно-слоевой точностью. Поскольку этот контроль должен осуществляться в «реальном времени», для него требуется обратная связь «в реальном времени» с использованием быстрых датчиков параметров процесса.

«В работе использовался разработанный в нашей лаборатории датчик энергетического спектра ионов. Однако, это – инвазивная диагностика, и в промышленном плазмохимическом реакторе его использование невозможно. Поэтому в работе предлагается подход, называемый «виртуальным датчиком», то есть оценка энергетического спектра ионов по внешним измеряемым параметрам газового разряда с использованием математического моделирования. Отладка данной модели («виртуального датчика») осуществляется на экспериментальных данных с «настоящего» (не «виртуального» датчика)», – рассказал доцент кафедры атомной физики физического факультета МГУ Сергей Зырянов.

В работе датчик применялся для измерения параметров асимметричного двухчастотного разряда с использованием быстрого метода расчета распределения энергии ионов электроде с приложенным высокочастотным напряжением смещения. В таком подходе в качестве входных данных используется экспериментально измеренная форма напряжения на плазменном слое и плотность плазмы, а также проводится моделирование движения ионов в оболочке методом Монте-Карло.

Полученные результаты демонстрируют возможность использования виртуального датчика распределения энергии ионов в плазме высокочастотных разрядов, и важны для исследований реакторов плазмохимического травления, используемых при производстве современных микрочипов с характерным размером структур менее 10 нанометров.

 

Ссылка на первоисточник

Картина дня

наверх